當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 激光調(diào)制與測量 > 光學(xué)測量設(shè)備 > SIT-200硅片厚度測量儀
簡要描述:硅片厚度測量儀SIT-200由精確可調(diào)激光光源,聚焦傳感器,光學(xué)接收器組成。波長掃描光聚焦照射到目標(biāo)上,由目標(biāo)表面和背面反射光干涉形成干涉圖案,經(jīng)過聚焦傳感器后由光學(xué)探測器進(jìn)行檢測。
產(chǎn)品分類
Product classification相關(guān)文章
RELATED ARTICLES產(chǎn)品簡介
品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
---|---|---|---|
組件類別 | 其他 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
詳細(xì)介紹
硅片厚度測量儀SIT-200
硅片厚度測量儀(SIT-200)由精確可調(diào)激光光源,聚焦傳感器,光學(xué)接收器組成。波長掃描光聚焦照射到目標(biāo)上,由目標(biāo)表面和背面反射光干涉形成干涉圖案,經(jīng)過聚焦傳感器后由光學(xué)探測器進(jìn)行檢測。
硅片厚度測量儀SIT-200產(chǎn)品特點(diǎn):
l 全光學(xué),非接觸硅片厚度測試
l 高動態(tài)范圍測量粗糙表面
l 濕法刻蝕過程中實(shí)時(shí)測量
高靈敏度 高精度 快速測量 遠(yuǎn)程控制
結(jié)構(gòu)示意圖
SIT-200
產(chǎn)品參數(shù):
測量目標(biāo) | 硅片 |
測量厚度 | 10-500μm |
光源 | 1515-1585nm掃描 |
功率 | 0.6mw,Class1 |
指示光源 | 紅光,Class1M |
測量時(shí)間 | 20ms |
重復(fù)性 | 0.1μm |
輸出監(jiān)控 | 干擾信號(電學(xué)) |
PC接口 | 網(wǎng)口 |
供電 | 100-240V,50/60Hz |
尺寸 | 364 x 147 x 391mm |
重量 | 9kg |
產(chǎn)品咨詢
全國統(tǒng)一服務(wù)電話
021-62209657電子郵箱:sales@eachwave.com
公司地址:上海市閔行區(qū)劍川路955號707-709室
業(yè)務(wù)咨詢微信